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溅射靶材看似遥远,却就在你我身边

发布时间:2019/11/05 丨 文章来源:未知 丨 浏览次数:

说到溅射靶材,大家可能绝人距离比较远,比较生疏,但是提到智能手机、信用卡、照相机、二代身份证相比大家都是熟悉的不能再熟悉了,就是它们都有一颗“芯”。而芯片中长度近万米的超细金属导线,就是由溅射靶材制造。所以说,溅射靶材一直伴随在我们身边,并不是那么遥远。随着半导体行业的迅速发展,对溅射靶材的需求越来越大,已成为半导体工业的战略性关键材料。

【什么是高纯溅射靶材】

溅射:

利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度流的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面原子离开固体并沉淀在基地表面的过程。

高纯溅射靶材:

在溅射过程中,高速度能的离子束流轰击的目标材料,称之为溅射靶材,是沉积薄膜的原材料;而利用各种高纯单质贵金属及新型合金及化合物制得的功能薄膜则为高纯溅射靶材。

【靶材分类】

​【靶材加工工艺

从工艺的难易程度来看,超高纯金属提纯技术、晶粒晶向控制技术、异种金属大面积焊接技术、金属的精密加工及特殊处理技术、靶材的清洗包装技术是目前靶材生产过程中的五大核心技术。

1、超高纯金属提纯技术:减少靶材杂质,提高材料导电性能,使互联线不易短路或断路。

2、晶粒晶向控制技术:使各晶粒的大小和排列方向相同,保证溅射成膜的均匀性和溅射速度。

3、异种金属大面积焊接技术:连接靶胚和背板,起到靶材的固定作用。

4、金属的精密加工及特殊处理技术:利用精密机台使靶材的尺寸和形状与要镀膜的基片匹配。

5、靶材的清洗包装技术:使靶材洁净程度满足生产要求。

应用领域

高纯溅射靶材主要应用于电子及信息产业、玻璃镀膜领域、耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

 

我们在溅射靶材制造方面已经取得巨大进步,但是目前全球靶材制造行业依然呈现寡头垄断格局,少数日美化工与制造集团主导了全球靶材制造行业,产业集中度高,研发和生产主要集中在美国、日本少数几家公司。

 

资料来源:网络

资料整理:快银新材料

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